FASSE｜ファッセ

ウェットステーション WS-820L

大日本スクリーン製造（株）が販売するφ200mmウエーハ洗浄装置。

ウェットステーション WS-820Lの詳細

薬液供給ユニット

大日本スクリーン製造（株）が販売するφ300mmウエーハ洗浄装置の付帯ユニット。
薬液の温調管理、濃度管理、流量管理などを行ない、安定した条件で洗浄装置本体に薬液を供給。

小型洗浄ライン

用途に応じた小型洗浄装置を製作。
作業や設置場所に併せて、様々なレイアウトの洗浄装置の製作が可能です。

小型薬液供給ユニット

場所を選ばない小型薬液供給ユニット。
高濃度の薬液を用途に応じ希釈することにより、安価に要求濃度の薬液を生産ラインへ供給でき、環境保全にも貢献。
写真の装置は塩酸の希釈を目的としたもので、希釈時に発生する塩化水素の排気機能もあり、クリーンな作業環境を実現。