FASSE｜ファッセ

パソコンの頭脳であり心臓部でもあるCPU（中央演算処理装置）の生産にも使用されている、大日本スクリーンの半導体洗浄装置。FASSEは、そんな“スゴイ装置”を構成する薬液供給ユニットや、バッチ式多層洗浄装置の生産を手掛けています。それらのノウハウを最大限に生かし、送液制御装置や部品洗浄装置など、お客さまにとって最適な流体装置を設計します。

お客さまに最適な装置を提供するために、半導体洗浄装置の製造で蓄積した実績を基に、信頼できる部材を調達。もちろん、資材に関するお客さまのご要望にも柔軟にお応えしています。

FASSEが得意とする送液制御装置や半導体洗浄装置は、耐薬性が求められることから樹脂製部品を多く使用します。そのためFASSEでは、この点を重視し、より高いコストパフォーマンスを実現するため、自社で装置の筐体を製作。また、品質に拘り、組立溶接作業はクリーンルーム内で行います。

制御ユニットやハーネス（各種ケーブル類）などの電装部品の製作には、意外とコストが掛かるものです。そのためFASSEでは、この点を重視し、より高いコストパフォーマンスの実現と品質の向上を目的に、制御ユニットの組み立てや各種ハーネスのアッセンブルなどに必要な電装部品を、自社で製作しています。

FASSEは作業環境のクリーン度に拘りを持っています。クラス10,000（1立方フィート当たり、直径0.5μmの粒子が10,000個以内）のクリーンルーム内で、半導体の製造プロセスに不可欠な超純水と電子工業用薬品を使用して、あらゆる部品を洗浄。ワンランク上の清浄度を持つ部品を提供します。

組み立て・電装作業は、大日本スクリーンの生産担当会社であるFASSEにとって、最も得意な分野です。超高精度が求められる半導体の製造は、高い精度を持つ製造装置があってこそ。FASSEでは、組み立て・電装作業はすべて自社のスタッフの手で行い、お客さまの装置を具現化します。

FASSEではもちろん、組み立てた装置の動作検査・調整作業もクラス10,000のクリーンルーム内で行います。また作業の実施に当たっては、超純水とクリーンエアを使用するなど、流体に関する配慮も万全です。

FASSEでは、組み立て、検査、調整にとどまることなく、梱包・出荷準備に至るまでクリーンルーム内で行います。お客さまの施設を汚すことのない部品と装置の提供を心掛けています。

FASSEでは、お客さまのご要望に応じて、組み立て・検査の完了した装置の搬入・セットアップを行います。また、装置納入後のメンテナンスや改造など、お客さまのさまざまなニーズに対して、スクリーングループの充実したサービス体制でサポートします。